蝕刻室

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Rapid thermal process線上預約
存放位置:蝕刻室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註:(Premtek)/卓越無塵室
RIE線上預約
存放位置:蝕刻室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註: (PlasmaPro system100)/卓越無塵室
ICP-RIE線上預約
存放位置:蝕刻室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註:(Oxford PlasmaPro system ICP-180)/卓越無塵室
ICP-RIE線上預約
存放位置:蝕刻室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註:(Samco RIE 800 iPB)/卓越無塵室
Ultrasonic Cleaners線上預約
存放位置:蝕刻室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSY201QTIyWHp5REE/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSZVJ4cmdnaTEtd2c/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室
Chemical Hood線上預約
存放位置:蝕刻室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSc3VjVXhiZzljcTg/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSY0I3WEQ5dmVtSkk/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室
Digital Hot Plate線上預約
存放位置:蝕刻室
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSazZOTWVNMTB2dVE/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室
O2 plasma線上預約
存放位置:蝕刻室
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSTlFvUWNlbnZkOVU/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室