爐管室

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Sputter線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSTjdyQXBjWk1pblU/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSenNNQjV0QVVBMVE/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機23
備註:應力所無座室
Box Furnace線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSTnhmRFJxNUgxWjA/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSUmFZdVo4NjRSd2c/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室
RIE線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSYURsRWhFNk5FMjg/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSeDlvbVR4bVRqN2M/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:試片不得含有金屬/應力所無塵室
LPCVD and APCVD線上預約
存放位置:爐管室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註:(Tempress TS6603BM)/卓越無塵室
PECVD線上預約
存放位置:爐管室
負責人:林順區博士
聯絡電話:02-33665063 分機21
備註:(Oxford PlasmaPro system100)/卓越無塵室
Parylene Deposition線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSLVprOHBFTVdQb3c/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSOFJRYnpQWjNqUm8/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無座室
Helium Leak Detector線上預約
存放位置:爐管室
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSVGJfZEN2b0NSODg/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室
PECVD線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSZlBPYTlWYWlXUVU/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSQ1VFVGQ0eXBMMjA/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:卓越無塵室
E-beam Evaporator線上預約
存放位置:爐管室
儀器介紹:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSaVh3dWY2ME5SQW8/view?usp=sharing
使用指導:https://drive.google.com/file/d/0B9G3k-ByAcpSdHBmUUpqdU0wM28/view?usp=sharing
負責人:林順區 博士
聯絡電話:(02)3366-5063 分機21
備註:應力所無塵室