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二維及三維度表面輪廓、表面粗糙度量測及薄膜應力分析
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| 廠牌型號 | KOSAKA ET4000 三朋代理 |
| 試片尺寸 | 4” (直徑) |
| X/Y軸量測 | 100mm/150mm |
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特點 l 具有精密真直度，提高再現性 l 採用直動式檢出器，無ARC誤差問題 l 測定再現性，1 Sigma 5 Å 以下 l 適合半導體100 Å ~100μm 薄膜段差量測 l 可測定微細表面輪廓形狀、斷差、粗糙度、應力分析等 |
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*~NEW~* 2019科普夏令營
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二維及三維度表面輪廓、表面粗糙度量測及薄膜應力分析
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| 廠牌型號 | KOSAKA ET4000 三朋代理 |
| 試片尺寸 | 4” (直徑) |
| X/Y軸量測 | 100mm/150mm |
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特點 l 具有精密真直度，提高再現性 l 採用直動式檢出器，無ARC誤差問題 l 測定再現性，1 Sigma 5 Å 以下 l 適合半導體100 Å ~100μm 薄膜段差量測 l 可測定微細表面輪廓形狀、斷差、粗糙度、應力分析等 |
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