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| 廠牌型號 |
BMT WLILAB(白光干涉) SMS(雷射共軛焦) 三朋代理 |
| 垂直量測精度 | ≦0.1nm |
| 量測範圍 | 數nm到10mm |
| 物鏡 | 10x、20x、50x |
| X-Y平台 | 電動量測平台 10 cm ×10 cm |
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特點 l 適用於MEMS、半導體、LCD、LED、 Micro lens及生物晶片等微結構表面形狀及大面積表面3D輪廓量測 l 非接觸式量測微結構表面參數，如3D表面輪，粗糙度，膜厚，平面度等，軟或黏性材料亦適用 l 掃瞄時間可設定 l 量測分析軟體WLILab可由中心網頁下載 |
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