線上預約
蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料
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廠牌型號 | SAMCO RIE-10N |
基材載具 | 4” wafer |
壓力控制器 | Max. 133.33kPa |
RF Power | Max. 150 W |
頻率 | 13.56MHz |
特點 l 可精確控制壓力及流量 l 可進行乾蝕刻 l 可蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料 |