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蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料
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| 廠牌型號 | SAMCO RIE-10N |
| 基材載具 | 4” wafer |
| 壓力控制器 | Max. 133.33kPa |
| RF Power | Max. 150 W |
| 頻率 | 13.56MHz |
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特點 l 可精確控制壓力及流量 l 可進行乾蝕刻 l 可蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料 |
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