國立臺灣大學工學院暨電機資訊學院奈米機電系統研究中心

關於我們

最新消息

儀器設備

分析室

黃光室

蝕刻室

爐管室

薄膜區

量測區

儀器委託操作

註冊及課程須知

收費標準

委託操作服務

中心相關法規

中心檔案下載

~NEW~ 2019科普冬令營

爐管室

首頁 » 儀器設備 » 爐管室 » RIE

線上預約

蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料
	廠牌型號	SAMCO RIE-10N
	基材載具	4” wafer
	壓力控制器	Max. 133.33kPa
	RF Power	Max. 150 W
	頻率	13.56MHz
	特點 l 可精確控制壓力及流量 l 可進行乾蝕刻 l 可蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料