爐管室

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蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料
 廠牌型號  SAMCO RIE-10N
基材載具 4” wafer
壓力控制器 Max. 133.33kPa
RF Power Max. 150 W
頻率 13.56MHz

特點

l   可精確控制壓力及流量

l   可進行乾蝕刻

l   可蝕刻Si series (c-Si、a-Si、poly-Si)、SiO2及SiNx等材料

 

 

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