| 訊息類別： | 活動回顧 |
| 發佈時間： | 2015-08-17 |
| 訊息標題： | 日本東北大學田中秀治教授參訪中心無塵室 |
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日本東北大學田中秀治教授應第19屆奈米工程暨微系統技術研討會邀請，前來台灣進行為期三天的學術交流，在今天演講結束後蒞臨奈米機電系統研究中心參訪，藉此機會與田中教授請教製程技術以及實驗室管理與建置相關問題，田中教授提出三點建議:1薄膜設備必須有所區分以提高鍍膜品質。2.Bonder機台對於微機電元件相當重要，進行矽的Fusion, anodic和eutectic接合。3.對於薄膜的殘餘應力要確實掌握，這對於製程相當重要。此外，對於本中心提供QR code利用手機查看操作手冊的服務(由中心張勤煜博士所建立)相當稱讚。
P.S.關於田中教授的第一與第二點建議，在中心遷移至水源校區卓越研究大樓後就會有相關的設備提供了，請敬請期待!