| 訊息類別： | 中心公告 |
| 發佈時間： | 2015-09-30 |
| 訊息標題： | RIE製程協助公告 |
因配合卓越大樓無塵室施工進度，中心已將RIE等設備搬移至新無塵室， 須等新大樓無塵室完工後方可復機。為避免影響學生實驗過久， 特別感謝電機系胡振國 、毛明華老師協助， 於特定時段開放電機系RIE 支援中心使用者。
需使用RIE進行製程者， 請先至辦公室填寫預約表，統一 於下一周星期一上午由中心工程師至電機系操作RIE協助製程(費率以使用者自行操作計費 )，之後再至中心取回試片即可。若有任何問題，歡迎隨時與中心連絡。
奈米機電系統研究中心 敬啟