營利機構收費標準

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訓練檢定費用

訓練檢定課程費用

營利機構
收費標準
(
新台幣 /)

 

 

收費項目

訓練

檢定

限制人數

備註

實驗室一般訓練

600

---

15~30

需完成註冊

ANSYS

(奈米機電設計分析軟體)

1,600

---

2~7

需完成註冊

Box Furnace

(高溫爐)

600

600

2~5

需通過一般訓練資格考核

COVENTORWARE

(奈米機電設計分析軟體)

1,600

---

2~7

需完成註冊

Dicing Saw

(晶圓精密切割機)

1,200

1,200

2~4

需通過一般訓練資格考核

Karl Suss Aligner

(雙面對準曝光機)

1,200

1,200

2~4

需通過一般訓練資格考核

E-beam Evaporator

(電子束蒸鍍機)

1,200

1,200

2~5

需通過一般訓練資格考核

E-beam Oxide major

(電子束蒸鍍機-氧化物為主)

1,200

1,200

2~5

需通過一般訓練資格考核

EDS 

2,400

2,400

2~4

需通過一般訓練資格考核

SAMCO ICP

(電感耦合電漿蝕刻機)

2,400

2,400

2~4

需通過一般訓練資格考核

Image analyzer

(影像分析儀)

 

 

 

需通過一般訓練資格考核

Optical-type surface analyzer

(干射暨雷射共軛焦表面分析儀)

 1,200

1,200 

2~5 

需通過一般訓練資格考核

O2 Plasma

(氧電漿清洗機)

600

600

2~5

需通過一般訓練資格考核

Parylene Deposition System

(聚對二甲基苯沉積系統)

 1,200

1,200 

2~5 

需通過一般訓練資格考核

PECVD(電漿輔助化學氣相沉積系統)

1,200

1,200

1~3

需通過一般訓練資格考核

Probe-Type Surface Analyzer

(探針式表面分析儀)

 1,200

1,200 

2~5 

需通過一般訓練資格考核

RIE(反應離子蝕刻機)

1,200

1,200

2~4

需通過一般訓練資格考核

Spin Coater (多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)

600

600 

2~5 

需通過一般訓練資格考核

Sputter(射頻濺鍍機)

1,200

1,200

2~4

需通過一般訓練資格考核

SEM(掃描式電子顯微鏡)

2,400

2,400 

2~3 

需通過一般訓練資格考核

Top Side EVG Aligner

(單面對準曝光機)

1,200

1,200

2~5

需通過一般訓練資格考核

Wire Bonder

(打線機)

 600

600 

2~5 

需通過一般訓練資格考核

備註
若報名上課人次未達「限制人數」下限時,該堂課將停開。

 

奈米機電系統研究中心儀器使用費列表

儀器使用費

營利機構
收費標準
(新台幣)

 

收費項目

 

備註

潔淨室

6元/分

---

Box Furnace

(高溫爐)

9元/分

---

Dicing Saw

(晶圓精密切割機)

120分鐘內500元;

超過120分鐘:500+4元/分

---

Karl Suss Aligner

(雙面對準曝光機)

1,200+36元/分

(即開機費1,200元)

---

E-beam Evaporator

(電子束蒸鍍機)

90分鐘內2,080元;

超過90分鐘:2,080+24元/分

---

E-beam Oxide major

(電子束蒸鍍機-氧化物為主)

90分鐘內2,080元;

超過90分鐘:2,080+24元/分

---

EDS

800元/30分

不足30分鐘以30分鐘計算。

SAMCO ICP

(電感耦合電漿蝕刻機)

2,400+400元/分

(即開機費2,400元)

---

Image analyzer (影像分析儀)

---

---

Optical-type surface analyzer (干射暨雷射共軛焦表面分析儀)

24元/分

---

O2 Plasma (氧電漿清洗機)

---

---

Parylene Deposition System (聚對二甲基苯沉積系統)

180分鐘內2,000元;

超過180分鐘:2,000+8元/分

---

PECVD

(電漿輔助化學氣相沉積系統)

90分鐘內3,000元;

超過90分鐘:3,000+60元/分

---

Probe-Type Surface Analyzer (探針式表面分析儀)

16元/分

---

RIE(反應離子蝕刻機)

1,500+60元/分

(即開機費1,500元)

氣體價格:1sccm約為scc0.01元

Spin Coater

(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)

200+12元/分

(即開機費100元)

---

Sputter(射頻濺鍍機)

90分鐘內2,080元;

超過90分鐘:2,080+60元/分

氣體價格:1sccm約為scc0.01元

SEM(掃描式電子顯微鏡)

60分鐘內2,400元;超過60分鐘:2,400+1,200元/30分

前60分鐘1200元,之後每30分鐘600元,不足30分鐘以30分鐘計算

Top Side EVG Aligner

(單面對準曝光機)

1,200+36元/分

(即開機費1,200元)

---

Wire Bonder (打線機)

12元/分

---

Sputter Coater(SEM鍍金機) 每30分鐘1000元 不足30分鐘以30分鐘計算

 

備註
所有儀器均採累進計費,月結一次,不足一分鐘以一分鐘計。