應用力學研究所內無塵室設備 收費標準

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 儀器訓練檢定收費標準

收費項目            

學術單位

營利機構

備註

 

訓練

檢定

訓練

檢定

 

無塵室一般訓練

300

600

10人開課

分析區

Dicing Saw

(晶圓精密切割機)

600

600

1,200

1,200

3~5

Optical-type surface analyzer (干射暨雷射共軛焦表面分析儀)

600

600

1,200

1,200

3~5

Probe-Type Surface Analyzer (探針式表面分析儀)

600

600

1,200

1,200

3~5

Wire Bonder (打線機)

300

300

600

600

3~5

黃光區

Spin Coater

(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)

600

600

1,200

1,200

3~5

Top Side EVG Aligner

(單面對準曝光機)

600

600

1,200

1,200

3~5

Karl Suss Aligner

(雙面對準曝光機)

600

600

1,200

1,200

3~5

蝕刻區

O2 Plasma (氧電漿清洗機)+ Box Furnace(高溫爐)+ 光學顯微鏡

600

600

1,200

1,200

3~5

爐管區

E-beam Evaporator

(電子束蒸鍍機)

600

600

1,200

1,200

3~5

Sputter(射頻濺鍍機)

600

600

1,200

1,200

3~5

Parylene Deposition System (聚對二甲基苯沉積系統)

600

600

1,200

1,200

3~5

RIE(反應離子蝕刻機)

600

600

1,200

1,200

3~5

其他

噴砂機

300

300

600

600

3~5

儀器使用費列表

收費項目

學術單位

營利機構

備註

潔淨室

3/

6/

 

分析區

Box Furnace(高溫爐)

5/

10/

 

Dicing Saw

(晶圓精密切割機)

30分鐘內200;

超過30分鐘:200+3/

30分鐘內400;

超過30分鐘:400+6/

不足30分鐘以30分鐘計算。

Optical-type surface analyzer

(干射暨雷射共軛焦表面分析儀)

12/

24/

 

Probe-Type Surface Analyzer

(探針式表面分析儀)

12/

24/

 

Wire Bonder (打線機)

6/

12/

 

光學顯微鏡

1/

2/

 

黃光區

Spin Coater

(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)

100+6/

(即開機費100)

200+12/

(即開機費100)

 

Top Side EVG Aligner

(單面對準曝光機)

600+18/

(即開機費600)

1,200+36/

(即開機費1,200)

精度1um

Karl Suss Aligner

(雙面對準曝光機)

600+18/

(即開機費600)

1,200+36/

(即開機費1,200)

精度2um

蝕刻區

O2 Plasma (氧電漿清洗機)

3/

6/

 

爐管區

E-beam Evaporator

(電子束蒸鍍機)

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,040;

超過30分鐘:1,040+12/

30分鐘內2,080;

超過30分鐘:2,080+24/

不足30分鐘以30分鐘計算。

Sputter(射頻濺鍍機)

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,040;

超過30分鐘:1,040+30/

30分鐘內2,080;

超過30分鐘:2,080+60/

不足30分鐘以30分鐘計算。

Parylene Deposition System

(聚對二甲基苯沉積系統)

90分鐘內1000元;

超過90分鐘:1000+4/

90分鐘內2,000元;

超過90分鐘:2,000+8/

不足90分鐘以90分鐘計算。

RIE(反應離子蝕刻機)

750+30/

(即開機費750)

1,500+60/

(即開機費1,500)

氣體價格:1sccm約為scc0.01

其他

噴砂機

30分鐘150

30分鐘300