課程名稱
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講義下載
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實驗室一般訓練
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ANSYS
(奈米機電設計分析軟體)
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Box Furnace
(高溫爐)
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COVENTORWARE
(奈米機電設計分析軟體)
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Dicing Saw
(晶圓精密切割機)
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Karl Suss Aligner
(雙面對準曝光機)
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E-beam Evaporator
(電子束蒸鍍機)
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E-beam Oxide major
(電子束蒸鍍機-氧化物為主)
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EDS
(能量分散式X-ray元素分析儀)
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SAMCO ICP
(電感耦合電漿蝕刻機)
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Image analyzer
(影像分析儀)
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Optical-type surface analyzer
(干射暨雷射共軛焦表面分析儀)
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O2 Plasma
(氧電漿清洗機)
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Parylene Deposition System
(聚對二甲基苯沉積系統)
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PECVD(電漿輔助化學氣相沉積系統)
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Probe-Type Surface Analyzer
(探針式表面分析儀)
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RIE(反應離子蝕刻機)
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Spin Coater (多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機、Laurel)
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Sputter(射頻濺鍍機)
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SEM(掃描式電子顯微鏡)
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Top Side EVG Aligner
(單面對準曝光機)
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Wire Bonder
(打線機)
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微奈米機電導論與實務 |
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備註:
若有需要紙本講義,請於上課前自行下載列印,中心不提供紙本講義。