應力所無塵室-課程講義

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課程名稱

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實驗室一般訓練


ANSYS

(奈米機電設計分析軟體)

 

Box Furnace

(高溫爐)

COVENTORWARE

(奈米機電設計分析軟體)

 

Dicing Saw

(晶圓精密切割機)

Karl Suss Aligner

(雙面對準曝光機)

E-beam Evaporator

(電子束蒸鍍機)

E-beam Oxide major

(電子束蒸鍍機-氧化物為主)

EDS

(能量分散式X-ray元素分析儀)

SAMCO ICP

(電感耦合電漿蝕刻機)

Image analyzer

(影像分析儀)

 

Optical-type surface analyzer

(干射暨雷射共軛焦表面分析儀)

O2 Plasma

(氧電漿清洗機)

Parylene Deposition System

(聚對二甲基苯沉積系統)

PECVD(電漿輔助化學氣相沉積系統)

 

Probe-Type Surface Analyzer

(探針式表面分析儀)

RIE(反應離子蝕刻機)

Spin Coater (多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機、Laurel)


Sputter(射頻濺鍍機)

SEM(掃描式電子顯微鏡)

Top Side EVG Aligner

(單面對準曝光機)

Wire Bonder

(打線機)

微奈米機電導論與實務

 

備註
若有需要紙本講義,請於上課前自行下載列印,中心不提供紙本講義。