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卓越研究大樓無塵室~開課中~

 奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表        (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

節次
時間
上午
09:30
|
12:30
Karl Suss Aligner MA8(卓越)
12/18
12/25
SEM(卓越)
12/19訓練
12/26檢定
EVG Aligner(應力)
12/13訓練
12/20檢定
Parylene(應力)
12/14訓練
12/21檢定
RIE(應力)
12/15訓練
12/22檢定
 
ICP-RIE(卓越)
(SAMCO)
12/19訓練
12/26檢定
Karl Suss Aligner MA6(卓越)
 12/20訓練
12/27檢定
ANSYS(應力)
12/14一般課程
 
 
RIE介電材料(卓越)
12/19訓練
12/26檢定
雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
12/20訓練
12/27檢定
E-Gun氧化物及金屬(卓越)
12/21訓練
12/28檢定
 
 
 
RIE光阻材料
(卓越)
12/20訓練
12/27檢定
 
 
 
下午
14:00
|
17:00
1300-1730
12/4力所一般實驗室訓練(應力)
1300-1430
12/5越大樓安全訓練
Spin Coater(應力)
12/13訓練
12/20檢定
Sputter(應力)
12/14訓練
12/21檢定
 
表面輪廓儀(卓越)
12/18訓練
12/25檢定
O2 Plasma+Optic mircoscopy+Box Furnace
12/12訓練
12/19檢定
Optics-Type Surface Analyser(應力)
12/13訓練
12/20檢定
Dicing Saw(應力)
12/14訓練
12/21檢定
 
 
Probe-TypeSurface Analyser (應力)
12/12訓練
12/19檢定
Double side Aligner(應力)
12/13訓練
12/20檢定
COVENTORWARE
12/14(應力)
一般課程
1400-1800
 
 
E-beam Evaporator(應力)
12/12訓練
12/19檢定
 
 
 
 
Spin Coater(卓越)
12/19訓練
12/26檢定
 
 
 
 
RTA(卓越)
12/19訓練
12/26檢定