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卓越研究大樓無塵室~開課中~

 

 奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表        (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

節次

時間

上午

09:30

|

12:30

Karl Suss Aligner MA8(卓越)

1/22

1/29

SEM(卓越)

1/23訓練

1/30檢定

EVG Aligner(應力)

1/17訓練

1/24檢定

Parylene(應力)

1/18訓練

1/25檢定

RIE(應力)

1/19訓練

1/26檢定

 

ICP-RIE(卓越)

(SAMCO)

1/23訓練

1/30檢定

Karl Suss Aligner MA6(卓越)

 1/24訓練

1/31檢定

ANSYS(應力)

1/18一般課程

 

 

 

RIE介電材料(卓越)

1/23訓練

1/30檢定

雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)

1/24訓練

1/31檢定

E-Gun氧化物及金屬(卓越)

1/18訓練

         2/1檢定

 

 

 

 RIE光阻材料

(卓越)

1/24訓練:博後

1/31檢定:博後

 

 

 

下午

14:00

|

17:00

1300-1730

1/8力所一般實驗室訓練(應力)

1300-1430

1/9越大樓安全訓練

Spin Coater(應力)

1/17訓練

1/24檢定

Sputter(應力)

1/18訓練

1/25檢定

 

表面輪廓儀(卓越)

1/22訓練:博後

1/29檢定:博後

O2 Plasma+Optic mircoscopy+Box Furnace

1/16訓練

1/23檢定

Optics-Type Surface Analyser(應力)

1/17訓練

1/24檢定

Dicing Saw(應力)

1/18訓練

1/25檢定

 

 

Probe-TypeSurface Analyser (應力)

1/16訓練

1/23檢定

Double side Aligner(應力)

1/17訓練

1/24檢定

COVENTORWARE

1/18(應力)

一般課程

1400-1800

 

 

E-beam Evaporator(應力)

1/16訓練

1/23檢定

 

 

 

 

Spin Coater(卓越)

1/23訓練

1/30檢定

 

 

 

 

RTA(卓越)

1/23訓練

1/30檢定